Babu, S. V.
概要
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書目資訊
Chemical-mechanical polishing--fundamentals and challenges : = symposium held April 5-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A. /
by:
Babu, S. V.; Danyluk, S.; Krishnan, M.; Tsujimura, M.
(書目-語言資料,印刷品)